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发明名称 FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 KR100610048(B1) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 KR19990022851 申请日期 1999.06.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;B05C5/02;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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