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发明名称
INTEGRATED, INTEGRATED CIRCUIT SINGULATION SYSTEM
摘要
An integrated, integrated circuit singulation system is provided including scribing a substrate using mechanical cutting or a plurality of passes of laser cutting, and dicing the substrate using mechanical cutting or laser cutting.
申请公布号
US2006169680(A1)
申请公布日期
2006.08.03
申请号
US20050162622
申请日期
2005.09.16
申请人
STATS CHIPPAC LTD.
发明人
PARK SEUNG WOOK
分类号
B23K26/16;B23K26/00;H01L21/78
主分类号
B23K26/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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