发明名称 Scheibenbehälterkassette
摘要
申请公布号 DE60029021(D1) 申请公布日期 2006.08.03
申请号 DE2000629021 申请日期 2000.04.04
申请人 SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 发明人 FUJIMORI, YOSHIAKI;TAKHASHI, MASATO
分类号 B65D85/86;H01L21/00;B65D25/54;H01L21/673;H01L21/68 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
主权项
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