发明名称 DEPOSITION SOURCE AND DEPOSITION APPARATUS USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060087918(A) 申请公布日期 2006.08.03
申请号 KR20050008794 申请日期 2005.01.31
申请人 SAMSUNG SDI CO., LTD. 发明人 KIM, DO GEUN;KANG, HEE CHEOL;JUNG, MIN JAE;HUH, MYUNG SOO
分类号 H05B33/10;C23C14/26 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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