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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Vakuumbeschichtung mittels Lichtbogen
摘要
申请公布号 DE60212551(D1) 申请公布日期 2006.08.03
申请号 DE20026012551 申请日期 2002.11.29
申请人 NISSIN ELECTRIC CO., LTD. 发明人 MURAKAMI, YASUO;MIKAMI, TAKASHI;OGATA, KIYOSHI;MURAKAMI, HIROSHI
分类号 C23C14/24;H01J37/32;C23C14/32;H05H1/50 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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