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VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM AUSRICHTEN ZWEIER FOTOMASKEN ZUEINANDER UND EINES UNBELICHTETEN LEITERPLATTEN-ROHLINGS UND ZUM ANSCHLIESSENDEN SIMULTANEN BELICHTEN BEI DER HERSTELLUNG VON DOPPELSEITIGEN LEITERPLATTEN
摘要
申请公布号
DE59913613(D1)
申请公布日期
2006.08.03
申请号
DE19995013613
申请日期
1999.11.04
申请人
MANIA TECHNOLOGIE AG
发明人
GEBUREK, FRANK
分类号
G03F9/00;G03F7/20;H05K1/02;H05K3/00
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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