Ritzrahmen mit verbesserter Füllroutine

摘要

Es wird eine Halbleiterscheibe (1) beschrieben, die nebeneinander angeordnete und durch einen Ritzrahmen (20) voneinander getrennte Chipbereiche (10) aufweist, DOLLAR A wobei die Chipbereiche (10) jeweils eine Vielzahl gleichartiger Vorrichtungsstrukturen (11) aufweisen, DOLLAR A wobei im Ritzrahmen (20) wenigstens ein Füllbereich (21) mit Füllstrukturen (22) angeordnet ist, und DOLLAR A wobei die Füllstrukturen (22) im Ritzrahmen (20) und die Vorrichtungsstrukturen (11) in den Chipbereichen (10) im Wesentlichen gleichartig ausgebildet sind.