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发明名称 DOPPEL-PULLBACK-VERFAHREN ZUM FÜLLEN EINES ISOLATIONSGRABENS
摘要
申请公布号 DE60302353(T2) 申请公布日期 2006.08.03
申请号 DE20036002353T 申请日期 2003.01.03
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 VON EHRENWALL, ANDREAS
分类号 H01L21/762;H01L21/311;H01L21/316 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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