| 发明名称 |
Detektoranordnung und Detektionsverfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10156275(B4) |
申请公布日期 |
2006.08.03 |
| 申请号 |
DE20011056275 |
申请日期 |
2001.11.16 |
| 申请人 |
LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH |
发明人 |
KNIPPELMEYER, RAINER |
| 分类号 |
G01N23/225;H01J37/244;H01J37/256;H01J37/29 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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