Verfahren zum Reinigen eines Vakuumbearbeitungskammer einschliesslich der Gaseinlassöffnung,申请号DE19976035271T-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren zum Reinigen eines Vakuumbearbeitungskammer einschliesslich der Gaseinlassöffnung
摘要
申请公布号	DE69735271(T2)	申请公布日期	2006.08.03
申请号	DE19976035271T	申请日期	1997.07.09
申请人	LAM RESEARCH CORP.	发明人	TRUSSELL, DAVID;KOEMTZOPOULOS, C. ROBERT;KOZAKEVICH, FELIX
分类号	C23C16/44;C23C16/50;C23C16/455;H01J37/32;H01L21/304	主分类号	C23C16/44
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