发明名称 ELEKTRONSTRAHL-PVD-VORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE60024051(T2) 申请公布日期 2006.08.03
申请号 DE20006024051T 申请日期 2000.08.03
申请人 GENERAL ELECTRIC CO. 发明人 BRUCE, WILLIAM;EVANS, DOUGLAS;MARICOCCHI, FRANK;EBERHARDT, HELMUT;RICK, ALFRED;BAEHR, MARTIN;REITH, ERHARDT
分类号 C23C14/46;C23C14/30;C23C14/56 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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