| 发明名称 |
APERTURBLENDE MIT STRAHLABSCHIRMUNG FÜR ELEKTRONENSTRAHL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69932067(D1) |
申请公布日期 |
2006.08.03 |
| 申请号 |
DE19996032067 |
申请日期 |
1999.09.13 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS LITHOGRAPHY LTD. |
发明人 |
ZHANG, TAO |
| 分类号 |
H01J37/09;H01J3/40;H01J29/84;H01J37/02;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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