| 发明名称 | 等离子产生方法、清洗方法以及衬底处理方法 | ||
| 摘要 | 一种环形等离子发生装置中的等离子发生方法，其中所述等离子发生装置包括：具有气体入口和气体出口并形成环形通路的气体通路、以及缠绕在所述气体通路的一部分上的线圈，所述等离子发生方法包括下述工序，即：向所述气体通路中提供含有至少5％的NF<SUB>3</SUB>的Ar气体和NF<SUB>3</SUB>气体的混合气体，并由高频电能驱动所述线圈，从而使等离子点火的工序，其中所述等离子点火工序是在6.65～66.5Pa的全压力下施行的。 | ||
| 申请公布号 | CN1813342A | 申请公布日期 | 2006.08.02 |
| 申请号 | CN200480018173.0 | 申请日期 | 2004.06.25 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 河南博;田村登;土桥和也 |
| 分类号 | H01L21/31(2006.01);C23C16/44(2006.01) | 主分类号 | H01L21/31(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 1.一种等离子发生方法，其用于环形等离子发生装置中，其中所述等离子发生装置包括：具有气体入口和气体出口并形成环形通路的气体通路、以及缠绕在所述气体通路的一部分上的线圈，所述等离子发生方法的特征在于，包括下述工序，即：向所述气体通路中提供含有至少5％的NF3的Ar气体和NF3气体的混合气体，并由高频电能驱动所述线圈，从而对等离子进行点火的工序，所述等离子点火工序是在6.65～66.5Pa的全压力下执行的。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||