冰浆的制造装置以及基板处理装置

摘要

本发明提供一种冰浆的制造装置以及基板处理装置，该冰浆的制造装置在由过冷却液体制造含有冰的微粒的处理液时，不会混入污染物质，且所生成的冰的微粒也不会溶解。该装置具备有主体部(10)，该主体部(10)在下部具有液体导入口(18)以及气体喷出口(24)，在上部具有含有冰的微粒的处理液的流出口(28)，从气体喷出口(24)向通过液体导入口(18)而被导入到主体部(10)内的过冷却液体喷出气体，解除过冷却状态，使所生成的含有冰的微粒的处理液从主体部(10)内通过流出口(28)而流出。

主权项

1.一种冰浆的制造装置，用于制造含有冰的微粒的处理液，其特征在于，具有：主体部，其下部具有液体导入口以及气体喷出口，上部具有含有冰的微粒的处理液的流出口；过冷却液体供给装置，其通过与该主体部的液体导入口连通的液体供给管，向主体部内供给过冷却液体；气体供给装置，其通过与上述主体部的气体喷出口连通的气体供给管，向主体部内供给过冷却解除用气体，从上述气体喷出口向通过上述液体导入口而被导入到上述主体部内的过冷却液体，喷出过冷却解除用气体，解除过冷却液体的过冷却状态，使所生成的含有冰的微粒的处理液从主体部内通过上述流出口而流出。