双模静电超声传感器

摘要

一种双模静电超声传感器，也称为双模电容超声传感器。它是由许多子传感器在同一平面上排列构成的阵列。子传感器具有典型的膜片－气隙结构，其振动膜片作为活动电极板，背板作为固定电极板，构成电容器。其特征是子传感器的振动模片、侧壁和背板围成一个密闭腔体，密闭腔体内填充有气体。它可以是常规机械加工的，也可以是微加工的。本实用新型可以有效工作在两个共振频率，具有两个工作模式。较之现有的单模式传感器，双模静电超声传感器可形成更宽的带宽，更大的动态范围，更高的声发射功率和声接受灵敏度。这种传感器可应用于机器人定位、导航，液面位置和涂层厚度测量，无损检测、水声和生物医学超声成像。

主权项

1.一种双模静电超声传感器，它是由各子传感器在同一平面上排列成的子传感器阵列，各子传感器相互并联，而每个子传感器由作为活动电极板的振动膜片和固定电极板构成一个电容器，其特征是：子传感器的振动模片、侧壁和背板围成一个密闭腔体，密闭腔体内填充有气体。