激光照射台、装置、方法及制造半导体装置的方法

摘要

当激光振荡器的输出变得更高，发展用于半导体膜激光退火工艺的更长的线形光束变成必要的。然而，如果线形光束的长度是300-1000mm或更长，那么用于形成线形光束的光学系统的光路长度变得非常长，从而增加了其占地面积尺寸。本发明缩短了光路长度。为了使光学系统的光路长度尽可能地短，并只增加线形光束的长度，可以在线形光束纵向上给半导体膜曲率。

主权项

1.一种激光照射台，包括：一个表面，在其上放置有衬底，其中，所述光束在单一方向上被扩展，以及其中，所述表面在平行于该单一方向的方向上具有曲率，以及其中，在相对于光束前进方向的反方向提供曲率。