高精度微量气体泄漏检测装置

摘要

一种高精度微量气体泄漏检测装置，该装置包括气源、气源处理设备、气源电磁换向阀，气源电磁换向阀通过第一电磁换向阀连通标准密封件，通过第二电磁换向阀连通被测密封件，标准密封件与被测密封件之间设有高精度压差传感器，各个电磁换向阀以及高精度压差传感器与控制器电连接；被测密封件连通容积补偿气缸，容积补偿气缸带有活塞、活塞杆；装置还包括用于检测活塞移位距离的位置检测设备，位置检测设备与控制器电连接；控制器包括开关控制模块、反馈控制模块、驱动输出模块、泄漏量计算模块；驱动输出模块的输出连接电机，电机连接执行机构，执行机构为容积补偿气缸的活塞杆驱动装置。本实用新型能定量对泄漏进行检测、测量精确性高。

主权项

1、一种高精度微量气体泄漏检测装置，其特征在于：所述的装置包括气源、气源处理设备、气源电磁换向阀、第一电磁换向阀、标准密封件、第二电磁换向阀、被测密封件以及控制器，所述的气源连接气源处理设备，所述的气源处理设备的出口设有气源电磁换向阀，所述的气源电磁换向阀通过第一电磁换向阀连通标准密封件，所述的气源电磁换向阀通过第二电磁换向阀连通被测密封件，所述的标准密封件与被测密封件之间设有高精度压差传感器，所述的气源电磁换向阀、第一电磁换向阀、第二电磁换向阀以及高精度压差传感器与控制器电连接；所述的被测密封件连通容积补偿气缸，所述的容积补偿气缸带有活塞、活塞杆；所述的装置还包括用于检测活塞移位距离的位置检测设备，所述的位置检测设备与控制器电连接；所述的控制器包括用于控制电磁换向阀动作的开关控制模块，用于接收压差传感器的信号并进行量化计算的反馈控制模块，用于根据量化计算结果向电机输出执行信号的驱动输出模块，用于根据位置检测设备的信号计算泄漏量的泄漏量计算模块；所述的驱动输出模块的输出连接电机，所述的电机连接执行机构，所述的执行机构为容积补偿气缸的活塞杆驱动装置。