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发明名称 TAILORED TEMPERATURE UNIFORMITY
摘要
申请公布号 EP1685585(A1) 申请公布日期 2006.08.02
申请号 EP20040795911 申请日期 2004.10.20
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 RAMACHANDRAN, BALASUBRAMANIAN;RANISH, JOSEPH, M.;JALLEPALLY, RAVI;RAMAMURTHY, SUNDAR;ACHUTHARAMAN, RAMAN;HAAS, BRIAN;HUNTER, AARON
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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