| 发明名称 | 湿式废气预处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种湿式废气预处理装置，包括：本体，其上设有用于废气进出的进气口和排气口，进水口和排水口；喷淋组件，其设于本体内；本体内通过隔板形成第一处理室、第二处理室和第三处理室，它们之间相互连通；所述进气口位于第一处理室，气体依次通过上述三个处理室；水通过喷淋组件在上述各处理室喷出以处理气体。该装置使废气的处理效率大幅提高，废气消除率在90％以上，同时降低了处理废气用水的消耗量，使维修周期加长，从而节省了成本。 | ||
| 申请公布号 | CN1810348A | 申请公布日期 | 2006.08.02 |
| 申请号 | CN200510023650.9 | 申请日期 | 2005.01.26 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 张龙;邓觉为;陈卓明;陈瑛祥;陈海鸿;蓝仁隆 |
| 分类号 | B01D47/14(2006.01);B01D53/78(2006.01) | 主分类号 | B01D47/14(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 楼仙英 |
| 主权项 | 1.一种湿式废气预处理装置，包括：本体，其上设有用于废气进出的进气口和排气口，进水口和排水口；喷淋组件，其设于本体内；其特征在于，本体内通过隔板形成第一处理室、第二处理室和第三处理室，它们之间相互连通；所述进气口位于第一处理室，气体依次通过上述三个处理室；水通过喷淋组件在上述各处理室喷出以处理气体。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 | ||