| 发明名称 | 高效微机械可调谐共振腔增强型探测器及其制作方法 | ||
| 摘要 | 一种高效微机械可调谐共振腔增强型探测器，其特征在于，其结构包括：一基片；一键合界面层，该键合界面层制作于基片之上；一第一反射镜，该第一反射镜制作于键合界面层之上，该第一反射镜由键合界面层的作用和基片牢固粘合在一起；一外延层，该外延层制作于第一反射镜之上，它包括探测器有源区和机械调谐区，共同构成共振腔的腔体部分；一第二反射镜，该第二反射镜制作于外延层之上；一保护层，该保护层制作在外延层的表面和侧面；以及第一、第二、第三电极分别制作在探测器有源区部分和机械调谐部分上。 | ||
| 申请公布号 | CN1812303A | 申请公布日期 | 2006.08.02 |
| 申请号 | CN200510006264.9 | 申请日期 | 2005.01.27 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 毛容伟;成步文;左玉华;余金中;王启明 |
| 分类号 | H04J14/02(2006.01);G02F2/00(2006.01) | 主分类号 | H04J14/02(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1、一种高效微机械可调谐共振腔增强型探测器，其特征在于，其结构包括：一基片；一键合界面层，该键合界面层制作于基片之上；一第一反射镜，该第一反射镜制作于键合界面层之上，该第一反射镜由键合界面层的作用和基片牢固粘合在一起；一外延层，该外延层制作于第一反射镜之上，它包括探测器有源区和机械调谐区，共同构成共振腔的腔体部分；一第二反射镜，该第二反射镜制作于外延层之上；一保护层，该保护层制作在外延层的表面和侧面；以及第一、第二、第三电极分别制作在探测器有源区部分和机械调谐部分上。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||