发明名称
摘要
申请公布号 JP3804110(B2) 申请公布日期 2006.08.02
申请号 JP19960197916 申请日期 1996.07.26
申请人 发明人
分类号 C30B29/06;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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