| 发明名称 | 影像感测像素单元、影像感测装置及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明是关于一种影像感测像素单元、影像感测装置及其制造方法，该影像感测装置包括：一光学感测元件；一晶体管，电性耦接于该光学感测元件，该晶体管具有位于一栅介电层上的一栅电极以及位于该栅电极两侧的多个间隔物，该些间隔物包括位于一缓冲氧化物上的一氮化物；以及一电容，电性耦接于该晶体管与该光学感测元件。本发明所述影像感测像素单元、影像感测装置及其制造方法可有效较低噪声比与较少不明信号。 | ||
| 申请公布号 | CN1812111A | 申请公布日期 | 2006.08.02 |
| 申请号 | CN200510109274.5 | 申请日期 | 2005.10.20 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 杨敦年;黄国钦;钱河清;伍寿国 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01);H01L29/78(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/336(2006.01);H04N5/335(2006.01) | 主分类号 | H01L27/146(2006.01) |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人 | 刘新宇 |
| 主权项 | 1.一种影像感测装置，其特征在于，所述影像感测装置包括：一光学感测元件；一晶体管，电性耦接于该光学感测元件，该晶体管具有位于一栅介电层上的一栅电极以及位于该栅电极两侧的多个间隔物，该些间隔物包括位于一缓冲氧化物上的一氮化物；以及一电容，电性耦接于该晶体管与该光学感测元件。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路八号 | ||