石英压力传感器及其制造方法

摘要

一种石英型压力传感器，其通过使用石英作为压力传感器的检测片从而可以解决使用硅检测片的压力传感器的缺点，例如由于刻蚀精度低而导致难以控制膜片厚度以及由此导致的检测精度低和弹性变形再现性差。该压力传感器包括：由绝缘材料构成的底板；顺序层叠在所述底板的表面上的下电极膜和介电膜；检测片，在与所述介电膜相对的位置设置有薄壁部并且固定到所述底板的表面；上电极膜，形成在所述薄壁部的至少一部分上并且位置关系为与所述下电极膜相对；以及在所述检测片的下表面与所述介电膜之间的微小间隙气密空间，该压力传感器的特征在于所述检测片由石英材料构成。

主权项

1、一种石英压力传感器，包括：由绝缘材料制成的底板；顺序层叠在所述底板的表面上的下电极膜和介电膜；检测片，在其与所述介电膜相对的位置设置有薄部并且固定在所述底板的表面上；以及上电极膜，形成在所述薄部的至少一部分中并且具有与所述下电极膜相对的位置关系，其中在所述上电极膜与所述介电膜之间设置有微小间隙空间，所述石英压力传感器的特征在于所述检测片由石英材料制成。