发明名称 MEMBRANE -MEDIATED ELECTROPOLISHING
摘要
申请公布号 EP1685281(A2) 申请公布日期 2006.08.02
申请号 EP20040800491 申请日期 2004.11.01
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 MAZUR, STEPHEN;JACKSON, CHARLES, E., JR.
分类号 C25F3/16;B23H5/08;B24B37/04;B24D13/14;H01L21/321 主分类号 C25F3/16
代理机构 代理人
主权项
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