| 发明名称 | 一种测定光学镀层或镀层系统的物理特性的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种通过光谱透射和/或反射测量方法测定光学镀层或镀层系统的物理特性的方法，由此，根据透射和/或反射测量光谱，从已知值中选择或通过试验确定随波长变化而变化的折射率n<SUB>0</SUB>和/或消光系数k<SUB>0</SUB>的参考值；并且通过折射率和消光系数的与波长无关的变量常数K<SUB>n</SUB>和K<SUB>k</SUB>来描述表征该镀层的变量。 | ||
| 申请公布号 | CN1811378A | 申请公布日期 | 2006.08.02 |
| 申请号 | CN200510090606.X | 申请日期 | 2005.08.17 |
| 申请人 | 应用薄膜有限责任与两合公司 | 发明人 | 汉斯·格奥尔格·洛茨;于尔根·施罗德 |
| 分类号 | G01N21/17(2006.01);G06F19/00(2006.01);G03F7/00(2006.01);G01B11/02(2006.01) | 主分类号 | G01N21/17(2006.01) |
| 代理机构 | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王昭林;张小英 |
| 主权项 | 1.一种通过光谱透射和/或反射测量手段测定光学镀层或镀层系统的物理特性的方法，其特征在于：对于所述的镀层或镀层系统，根据透射和/或反射测量的光谱，从已知值选择或试验确定依赖波长的折射率n0和/或消光系数k0的参考值，以及分别由与波长无关的变量常数Kn和Kk测定与所述参考值的偏差；该偏差确定了所述镀层的特性，且该偏差由实际折射率n和/或消光系数k显示出。 | ||
| 地址 | 德国阿尔泽瑙 | ||