发明名称 |
Method for producing a semiconductor component and a semiconductor component produced according to this method |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1379463(B1) |
申请公布日期 |
2006.08.02 |
申请号 |
EP20020712794 |
申请日期 |
2002.02.21 |
申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
BENZEL, HUBERT;WEBER, HERIBERT;SCHAEFER, FRANK |
分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;B81B1/00;G01F1/684;G01F1/688;G01F1/699 |
主分类号 |
B81B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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