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发明名称 LITHOGRAPHY USING QUANTUM ENTANGLED PARTICLES
摘要
申请公布号 EP1203265(A4) 申请公布日期 2006.08.02
申请号 EP20000961318 申请日期 2000.05.19
申请人 CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 WILLIAMS, COLIN;DOWLING, JONATHAN;DELLA ROSA, GIOVANNI
分类号 G03F7/00;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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