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发明名称 ELECTRET AND ELECTRET CAPACITOR
摘要 <p>A silicon nitride film (103) and a silicon nitride film (106) are formed to cover a charged silicon oxide film (105) serving as an electret.</p>
申请公布号 EP1686599(A1) 申请公布日期 2006.08.02
申请号 EP20040818870 申请日期 2004.11.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 YAMAOKA, TOHRU;OGURA, HIROSHI;MIYOSHI, YUICHI;SASAKI, TOMOYUKI
分类号 H01G7/02;H01G5/013;H01G5/16;H04R19/01 主分类号 H01G7/02
代理机构 代理人
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