测量误差校正方法与电子元件特性测量装置

摘要

提出一种高度精密而多端口兼容的相对校正方法与装置，用于校正涉及非同轴电子元件端口数增多的测量误差，其中设置的一种相对校正结合器(31)由双端口网络构成，所述网络接至测量装置附近的生产测试夹(5B)的各端口。该相对校正结合器的特征在于，能把其上装有被测电子元件的生产测试夹(5B)产生的电气特性修正为由其上装有被测电子元件的标准测试夹(5A)产生的电气特性。相对校正结合器(31)的误差因子根据校正数据采集样件(11B)的标准测试夹测量值与生产测试夹测量值确定，并用该误差因子校正被测电子元件(11A)的生产测试夹测量值。这样得到的被测电子元件(11A)的标准测试夹测量值，假定是在用标准测量装置1测量装在标准测试夹(5A)上的被测电子元件(11A)时得到的。

主权项

1.一种测量误差校正方法，其中当多端口被测电子元件装在生产测试夹上用测试仪测量其电气特性时，把应用生产测试夹的被测电子元件的生产测试夹测量值校正到假定得到的电气特性，所述假定得到的电气特性是在该测试仪和另一台在测量性能特性上被视为等效于该测试仪的测试仪之一测量装在标准测试夹上的该被测电子元件时所得到的，所述标准测试夹导致电子元件的电气特性测量结果不同于生产测试夹提供的该电子元件的电气特性测量结果，其特征在于，所述方法包括以下步骤：制备至少三个电气特性不同且其端口间传输系数极小的校正数据采集样件；用测试仪和另一测试仪之一测量装在标准测试夹上的校正数据采集样件的电气特性，获取该校正数据采集样件的标准测试夹测量值；用测试仪和另一测试仪之一测量装在生产测试夹上的校正数据采集样件的电气特性，获取该校正数据采集样件的生产测试夹测量值；根据校正数据采集样件的标准测试夹测量值和生产测试夹测量值，确定相对校正结合器的误差因子，其中把该相对校正结合器模拟成包含接测试仪附近生产测试夹诸端口的双端口网络，而且具有将其上装有被测电子元件的生产测试夹产生的电气特性修正为其上装有被测电子元件的标准测试夹产生的电气特性的特性；用测试仪和另一测试仪之一测量装在生产测试夹上的被测电子元件，获取其生产测试夹测量值；和利用相对校正结合器的误差因子校正被测电子元件的生产测试夹测量值，计算被测电子元件的标准测试夹测量值，假定该测量值在测试仪和另一测试仪之一测量装在标准测试夹上的被测电子元件时得到。