发明名称 形成电可编程只读存储器的方法
摘要 一种形成电可编程只读存储器的方法,其包括在一N型阱上形成一第一P型掺杂区、一第二P型掺杂区及一第三P型掺杂区,于该第一P型掺杂区及该第二P型掺杂区之间形成一控制栅极,以及于该第二P型掺杂区及该第三P型掺杂区之间形成一P型浮置栅极。
申请公布号 CN1267988C 申请公布日期 2006.08.02
申请号 CN02160429.0 申请日期 2002.12.30
申请人 力旺电子股份有限公司 发明人 徐清祥;朱志勋;何明洲;沈士杰
分类号 H01L21/8247(2006.01) 主分类号 H01L21/8247(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 李晓舒;魏晓刚
主权项 1.一种形成电可编程只读存储器的方法,其包括:于一N型阱上形成一第一P型掺杂区、一第二P型掺杂区及一第三P型掺杂区;于该第一P型掺杂区及该第二P型掺杂区之间形成一控制栅极;于该第二P型掺杂区及该第三P型掺杂区之间形成一N型浮置栅极;以及增加该N型阱介于该第二P型掺杂区及该第三P型掺杂区之间的施主离子的浓度以形成一N-型掺杂区。
地址 台湾省新竹市