| 摘要 |
本发明揭示一种组装使用电荷耦合装置(CCD)的固态摄像设备之方法，及一种使用据以制造之CCD的固态摄像设备。本发明能简化或修改制程以增加产出率、藉由使入射光之扩散反射最小而克服不精确之光收集，以及避免光入射在邻近单元上。使用电荷耦合装置(CCD)之固态摄像设备包括形成在半导体基材表面上之n型杂质掺杂区域和埋入式电荷耦合装置(BCCD)区域。尤其是，该固态摄像设备至少包含：一形成在n型杂质掺杂区域和BCCD区域上之第一保护膜；制备在形成于BCCD区域上之第一保护膜上的多晶矽电极；一覆盖该等多晶矽电极之第二保护膜；一以预定厚度形成在该第一和第二保护膜上表面上之BPSG膜；一形成在BPSG膜上之金属光遮蔽膜，其使得n型杂质掺杂区域可被开启；及形成在该金属光遮蔽膜及已开启n型杂质掺杂区域上之一钝化膜或平坦化膜。 |
