昇降机式工具装载及缓冲系统

摘要

一种基材处理装置，包括：一内部具有处理装置用以处理该基材之外壳；一连接于该外壳用以装载该基材进入该处理装置之装埠介面；及一连接于该外壳之载具保持站；该载具保持站系适于保持至少一台基材传送载具于该装载埠介面，其中，该载具保持站系经配置成可提供一快速交换段用以从该载具保持站替换该至少一台基材传送载具。