发明名称 将金属导线接合在铜焊垫上之方法
摘要 一种将导线接合在铜焊垫上之方法。形成保护层于铜焊垫上。此保护层具有开口贯穿其中,而暴露出部分之铜焊垫。利用无电电镀法形成镍–铜–磷(Ni–Cu–P)层于铜焊垫上。透过镍–铜–磷层而将导线连接至铜焊垫。镍–铜–磷层保护位在下方之铜焊垫使之不受氧化,如此一来可在导线与铜焊垫之间形成较为优良之连接。
申请公布号 TW200627584 申请公布日期 2006.08.01
申请号 TW094114282 申请日期 2005.05.03
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 苏昭源;黄传德;李建勋;李新辉
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号