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将金属导线接合在铜焊垫上之方法
摘要
一种将导线接合在铜焊垫上之方法。形成保护层于铜焊垫上。此保护层具有开口贯穿其中,而暴露出部分之铜焊垫。利用无电电镀法形成镍–铜–磷(Ni–Cu–P)层于铜焊垫上。透过镍–铜–磷层而将导线连接至铜焊垫。镍–铜–磷层保护位在下方之铜焊垫使之不受氧化,如此一来可在导线与铜焊垫之间形成较为优良之连接。
申请公布号
TW200627584
申请公布日期
2006.08.01
申请号
TW094114282
申请日期
2005.05.03
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
苏昭源;黄传德;李建勋;李新辉
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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