具有低电弧特性、圆柱形气体出口及有形状表面之顶置源功率电极之电浆反应器

摘要

可形成至少一部份电浆反应器顶板之一种顶置气体分布电极具有面向此反应器制程区域的底表面。此电极包含一气体供给歧管，用以接收具供给压力且在电极顶端部份之制程气体，以及复数个降压圆柱状孔洞，其中该些孔洞系由位于每个孔洞一端之气体供给歧管处相对电极而轴向延伸。在电极内之一径向气体分布歧管系径向延伸整个电极。复数个轴向延伸之高传导气体流通道系连接各自复数个降压孔洞的另一端至径向气体分布歧管。复数个高传导圆柱状气体出口孔形成于面向电浆之电极底表面中，以及轴向延伸至径向气体分布歧管。