发明名称 形成线性图案的方法
摘要 本发明揭露一种形成线性图案的方法,名为「线性方向旋转涂布技术」。其系在一基板上先形成数阻隔堤,以定义出数沟槽;将基板垂直竖立于一旋转盘之外缘;再将材料滴于沟槽一端,并转动旋转盘,以利用杂心力将材料均匀涂布于沟槽内之基板上,进而形成一线性图案。且若使用二种以上同之材料,即可选择性的在特定之不同沟槽涂布形成不同材料的线性图案,且其厚度可与知之旋转涂布法所形成的厚度相当。
申请公布号 TW200627072 申请公布日期 2006.08.01
申请号 TW094101836 申请日期 2005.01.21
申请人 国立中正大学 发明人 郑荣伟;何正荣
分类号 G03F7/16 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人 林火泉
主权项
地址 嘉义县民雄乡三兴村160号