支撑及/或加热调适一基板,一支撑桌,及一夹头之装置及方法

摘要

本发明揭示一种包括一用于支撑一基板之支撑桌的装置。该支撑桌包括在用于支撑该基板期间与该基板接触的复数个支撑突起。该支撑桌包括复数个热传递突起，其当该基板系由该等支撑突起支撑时，在使用期间向该基板延伸而不接触该基板。用于与该基板进行热交换之含气体热交换间隙在该等热传递突起与该基板之间延伸。