微影罩幕缺陷材质除去方法

摘要

本发明是关于一种用于移除一微影罩幕之传导区域(1；2)中的缺陷材料(40)的方法，其中该微影罩幕具有传导载体材料(4；5)与吸收材料(3)。一第一方法步骤为移除一处理区域中的缺陷材料(40)与吸收材料(3)；而一第二方法步骤为于一外部区域中涂布一吸收材料(7)，该外部区域系与以吸收材料(3)预先覆盖之该处理区域的部分区域有关。