用在校准一流量装置之系统及方法

摘要

本发明之实施例提供一种用于快速校准一流量装置之系统及方法。可由制造商或第三方提供一流量装置的一校准流量曲线(例如，以一n次多项式表示)。使用一或多个校正因数可调整一制程流体及实际上将安装该流量装置之系统的校准曲线。基于一简单的实验试验或制程流体之流体属性，可确定流量曲线之校正因数。然后，将校正流量曲线储存在流量装置中，以使得其可用于将来的流量控制。