微影投影装置及驱动器

摘要

本发明揭示一种微影投影装置。该装置包括一基板支撑件，其经构成以支撑一基板；一投影系统，其系配置以投影一图案化辐射束于基板之一目标部分上；及一框架，在该框架上系安装该投影系统的至少一零件。一流体提供器系配置以在基板及投影系统之下游端间提供一流体。该装置亦包括一驱动器，其系与框架及与流体提供器联结，且配置以将流体提供器定位；及一缓冲系统，用以当该驱动器将流体提供器定位时缓冲振动力。