导线的制造方法

摘要

一种导线的制造方法。此方法系先提供一基底，基底上已形成一层多晶矽层。然后，于多晶矽层上形成一层罩幕层，其具有一开口暴露出多晶矽层。接着，于罩幕层之侧壁形成间隙壁。继而，以具有间隙壁之罩幕层为罩幕，移除部分多晶矽层，以暴露出基底。之后，再于基底上形成填满开口的绝缘层，绝缘层与罩幕层具有不同蚀刻选择性。接下来，移除罩幕层，以暴露出多晶矽层。然后，于多晶矽层表面形成一金属矽化物层。