液滴吐出头之制造方法、液滴吐出头及液滴吐出装置

摘要

本发明系提供一种于制造中，矽基板不会破裂或出现缺口之高良率之液滴吐出头之制造方法等。本发明具有以下步骤：藉由将矽基板30之一面蚀刻，形成作为喷嘴8之凹部之步骤；于矽基板30之形成有作为喷嘴8之凹部之面，贴合支撑基板40之步骤；从矽基板30之贴合有支撑基板40之面之相反面，将矽基板30进行薄板化之步骤；及将矽基板30进行薄板化后，从矽基板30剥离支撑基板40之步骤。