管状溅镀靶材

摘要

本发明系关于一种管状溅镀靶材，该靶材具有一靶体及一设置在该管子之至少一个末端之附着装置，该靶材在于该附着装置及／或一管端盖与该靶体藉由材料接合或正锁定而接合。