| 摘要 |
一种多轨道磁电管，其具有一回旋形状且不对称于它所围绕旋转的标靶中心(14)。一电浆轨道(166)被形成为一介于相反的内磁极(162)与外磁极(164)之间的闭合回圈，最好是被形成为两圈或三圈(其系被径向地安排且被形成为螺旋形状)相关于该标靶中心之反方向延伸的轨道，且最好是通过该旋转轴。磁极形状可被最佳化用以产生一遵守L＝ar^n函数之累计的(cumulative)轨道长度分布。在使用电脑的最佳化之数次迭代(iteration)之后，该磁极形状可用在制造好的磁极部件中之不同的磁铁分布来测试溅镀均匀性。如果该均匀性仍然不令人满意的话，则用不同的n值，不同的轨道数目，或不同的磁极宽度来重复该设计迭代。该最佳化减小了方位角的侧壁不对称性，并改善了径向沉积均匀性。 |
