云纹(MURA DEFECT)检查装置及方法、暨光罩之制造方法

摘要

【课题】：将提供一种能以高精密度来检测出云纹(mura defect)之云纹检查装置。【解决手段】：一种云纹检查装置10，系具有：将光线照射到于透明基板52表面52A上具备有排列为规则性之单位图案的重复图案之光罩50的光源12，以及将自光罩的反射光受光而做成受光资料的受光器13，且将此受光资料以解析装置14来解析而检测出产生于重复图案上的云纹者；其中，上述光源12系可将光线照射到于光罩中之透明基板内面52B侧。