具有均匀光感度的画素阵列的CMOS影像感测器CMOS IMAGE SENSORS HAVING PIXEL ARRAYS WITH UNIFORM LIGHT SENSITIVITY

摘要

固态CMOS主动画素感测器装置具有单位画素，前述单位画素经构成以在整个一画素阵列上提供画素间感度之改良之均匀性而无需一额外的光屏蔽层。举例而言，形成具有对称布局图案之单位画素，藉此设计一或多个低程度BEOL(后段制程)金属化层作为光屏蔽层而运作，前述光屏蔽层经对称地图案化并排列以平衡抵达感光区域之入射光的数量。