光阻剂用之抗反射组合物

摘要

本发明系关于包含聚合物之涂料溶液，该聚合物藉由将甘化合物与至少一种含有至少一个羟基及／或至少一个酸基之反应性化合物进行反应而得到，且进一步，其中该聚合物可溶于有机溶剂中。本发明亦关于使涂布于此有涂料组合物上之光阻剂成像之方法及用于该涂料组合物之聚合物。