| 摘要 |
本发明之课题系在于提供一种成膜装置，其在施行提高基板上之湿润性之处理后，在特定时间内在基板上涂敷形成膜之材料，以形成具有均匀膜厚之膜。成膜线2系由表面改性处理装置4、成膜溶液涂敷装置6、烘乾装置8、时间管理装置14、皮带输送机BC1、BC2、驱动装置12及控制装置10所构成。在表面改性处理装置4中，在皮带输送机BC1所输送之基板上施行表面改性处理。在时间管理装置14中，判定被施行表面改性处理之基板是否经过预先设定之可成膜处理时间，在可成膜处理时间内之情形，经由皮带输送机BC1将基板输送至成膜溶液涂敷装置6，已经过预先设定之可成膜处理时间之情形，经由皮带输送机BC2将基板输送至表面改性处理装置4。在成膜溶液涂敷装置6中，在皮带输送机BC1所输送之基板，涂敷成膜溶液。而，在烘乾装置8，在皮带输送机BC1所输送之基板施行烘乾处理，以烘乾涂敷于基板上之成膜溶液，形成特定之膜。 |
