多阶及灰阶绕射光栅

摘要

本发明提供用于射束分光器及光学读取装置中之多阶及灰阶绕射光栅。该多阶及该灰阶绕射光栅经设计以利用具有高于±1阶绕射光之之阶次之绕射光。藉由利用此种较高阶次之绕射光，该多阶及该灰阶绕射光栅可经设计以具有复数个槽，该等复数个槽具有可有效增加的特定周期及光栅深度，以便满足最小制造临限值且提供高的绕射效率而不改变诸如绕射角或入射光角度之该等光栅之预定条件。