以机械持续性为特征的具有可变形薄膜之微机电系统装置

摘要

本发明提供一种干涉量测调变器，其在致动时的变形时间常数系快于自致动释放时的松弛时间常数。在一些实施例中，在一机械薄膜中形成小孔以减少致动时该薄膜上的压力，包括液体及／或气体压力。在其它实施例中，将一阻尼层安置于极接近该薄膜上，以便将更大的向下压力施加至该薄膜上，且因此在自一致动状态释放时减缓该薄膜之运动。其它实施例包含，例如一加热元件或真空装置的结构，以操纵该机械薄膜上及／或下之压力，从而影响该显示装置之机械持续性。