在液晶显示器中形成薄膜电晶体的方法

摘要

在液晶显示器里形成薄膜电晶体的制程中，首先在透明基板上依序形成一缓冲层以及一复晶矽层。之后，利用电浆处理的方式在复晶矽层的表面形成闸极绝缘层，其中电浆可包含氧，氮，或是同时包含两者，而处理的温度约在300–600℃之间。接着，形成一闸极层在上述之闸极绝缘层上，并且在闸极层的两旁形成源极与汲极。